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                产品展示

                PRODUCTS

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                徐晓冬: 188 3821 1523
                Email : nbd@nbdkj.com
                公司地址: 郑州·新郑·新村镇郑州理工职?业学院内
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                RTP快速退火斗鸡眼怎么形成的炉

                发布时间:2017-11-16  浏览次数:3331

                产品型号:NBD-HR1200-110IT-170
                商品简述:NBD HR系列高温快速热处理退?火炉简称RTP。 
                该产品采用成熟的制造工艺,RTP快速退火炉造?型新颖结构合理; 
                目前斗鸡眼怎么形成的已被各种试样实验多次验证,RTP快速退火炉并已广泛用于半导体器件斗鸡眼怎么形成的研发及生?产等领域; 


                该系统主斗鸡眼怎么形成的要用于: 
                1.可满足离子注入后的快速退火; 
                2.也可用于欧姆接触斗鸡眼怎么形成的快速合金; 
                3.还可用于硅化物合金退火,RTP快速?退火炉氧化物生长; 
                4.以及铜铟镓硒光伏应用?中的硒沉积等快速热处理工艺场合。 
                该设备是国家专利保护产品,专利号:CN201310005931.6


                    快速热处理退火炉?简称 RTP(Rapid Thermal Processing Furnace),RTP快速退火炉在成熟的生产制造斗鸡眼怎么形成的工艺的基础上,自主研发了该斗鸡眼怎么形成的款产品,拥有发明专利。RTP快速退火炉该设备不但拥有较快的升温速率500℃/S,而且在烧结工艺运行完结,直接将?试样在高温区取出。实现物理状态下的?较快降温。我们的工程师们巧妙地利用了斗鸡眼怎么形成的冷壁工艺,RTP快速退火炉在绿色节能环保的基础上实现了试样的快速升降温!
                腔体采用了不同的进气结构,内管进气,外管出气,RTP快速退火炉使得反应气氛与加工样品充分而均匀地接触。测温元?件直接和试样接触,保证试样温度的准确性。


                RTP快速退火炉主要技术参数

                1

                项 目

                主要技术指标

                数据

                2

                规格型号

                NBD-HR1200-110IT-170

                3

                温度控制

                最高温度点

                1200℃

                4

                额定温度

                1100℃

                5

                稳定状态温度范围

                100~1000℃

                6

                温度测量精斗鸡眼怎么形成的度

                ±0.2℃

                7

                温度控制?重复性

                ±1℃

                8

                温度控制精确度

                ±1℃

                9

                温场均匀性

                ±2℃

                10

                温度状态工艺时间(S)

                2~100(100~1000℃)

                11

                最快升?温速率

                500℃/S

                12

                降温速率(℃/S)

                1~200(通氮气,速率更快)

                13

                温度控制模式

                智能模糊全闭斗鸡眼怎么形成的环控制

                14

                软件功能

                操控系统

                NBD-101智能系统

                15

                用户界面

                中?英文互换

                16

                工艺菜单编辑

                触屏式图像操作界面

                17

                扩充端口

                可扩充真?空测控和FFC供气

                18

                看门狗

                系统进入死循环时关闭主控制?器

                19

                热电斗鸡眼怎么形成的偶校准状态检测

                软件校准,方便准确,软件分析传感器状态是否正常

                20

                超高温状态检测

                软件检测出温度?信息出现高温异常时,切断主回路

                21


                触摸屏尺寸

                7"LCD

                22

                物理指标

                最大功率

                15kw

                23

                额定电压

                AC380~400V,50Hz(60Hz定制)

                24

                传感器类?型

                S型单铂铑

                25

                反应腔室内径尺寸

                Φ100X200mm

                26

                式样有?效空间

                3.5"

                27

                真空度

                4.3×10-3Pa(外配?分子泵)

                28

                抽气端口尺寸

                KF16(或Φ8mm宝塔嘴)

                29

                供气口尺寸

                Φ6.35mm双卡套

                30

                冷却方式

                自然冷却或强迫风冷N2或压?缩空气:2psi (0.14kg/cm2) – 7psi(0.5kg/cm2) 

                31

                外形净尺寸(mm)

                长920×深500×高560

                32

                重量

                净重65kg

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